AML紧凑型直驱定位平台
紧凑型直驱定位平台, 行程10/15/20mm可选,其他行程可定制, 可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR/AMZ叠加成XYT或XYZT平台
产品特性:
·紧凑型直驱定位平台
·行程10/15/20mm可选,其他行程可定制
·重复定位精度可达±0.3um
·可灵活组合,叠加成XY或搭配AMR/AMZ叠加成XYT或XYZT平台
典型应用领域:适用于亚微米级定位、光学对位平台,力控制
参数规格 | 单位 | AML40-10 | AML65-15 | AML80-20 |
行程 | mm | 10 | 15 | 20 |
持续力 | N | 2.3 | 5.9 | 28.8 |
峰值力 | N | 6.9 | 17.7 | 28.8 |
分辨率 | μm | ABI22: SINCOS | ||
ABI21: 0.5/0.2 | ||||
AT2: SINCOS | ||||
AT2: 0.2/0.05 | ||||
重复精度 | μm | ABI22 SINCOS: ±0.4 (4096X) | ||
ABI21: 0.5/0.2:±1 | ||||
AT2: 0.2/0.05:±0.5 | ||||
AT2 SINCOS: ±0.3 (4096X) | ||||
直线度 | μm | ±1.5 | ±1.5 | ±1.8 |
平面度 | μm | ±1.5 | ±1.5 | ±1.8 |
建议负载1 | kg | 0.4 | 1.1 | 1.3 |
运动质量2 | kg | 0.06 | 0.18 | 0.32 |
总质量2 | kg | 0.16 | 0.39 | 0.61 |
负载 | kg | 2.0 | 6.0 | 0.85 |
倾侧力矩 | Nm | 1.0 | 5.4 | 9.0 |
俯仰力矩 | Nm | 1.6 | 7.0 | 9.7 |
横摆力矩 | Nm | 1.8 | 8.4 | 11.7 |
注:
1.在此负载下,平台可以提供不少于1G的加速度。
2.运动质量和总质量不包含建议负载。
AML80-20