MPS75SL微型螺杆驱动线性平台

　　设计特点

　　压实75mm宽，行程100mm

　　精密滚珠丝杠传动

　　直流伺服或步进电机

　　抗蠕滑十字滚子轴承

　　高分辨率（0.1μm）、重复性（±0.75μm）和精度（±1.0μm）

　　高真空兼容

　　可选波纹管路盖

　　紧凑的多轴配置

　　MPS75SL是一种紧凑、高性能的线性定位平台，非常适合实验室的限制，同时提供生产环境所需的高可靠性。它是测量、测试、对准和部件装配的理想选择。

　　高精度

　　精密研磨滚珠丝杠提供精度、重复性和0.1微米的**精细定位分辨率。直流伺服电机配有旋转编码器。抗蠕动交叉滚子直线轴承提供平稳的旅行和良好的有效载荷特性。

　　可选真空制备

　　MPS75SL提供10-6托的可选真空准备。它是当今半导体制造和检验、光学制造和航空航天等市场中要求苛刻的真空应用的**紧凑舞台选择。

　　高度可配置

　　可选的面包板安装板提供了直接安装到英国和公制面包板。防尘套可用于多尘环境。任何型号都可以安装在XY配置中，如果使用直角L形支架，则可以安装在XYZ配置中。它也可以安装在较小的MPS50SL阶段。

　　MPS75SL是MPS（微型定位台）系列的一员，包括线性、旋转、测角仪、垂直升降和Z级。两个或多个阶段可以很容易地安装在一起，在许多组合使用标准化的安装模式和适配器板。